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日本通產省1991年開始啟動一項為期10年、耗資250億日元的微型大型研究計劃，研制兩臺樣機，一臺用于醫療、進入人體進行診斷和微型手術，鋸床下料加工廠家，另一臺用于工業，對飛機發動機和原子能設備的微小裂紋實施維修。該計劃有筑波大學、東京工業大學、東北大學、早稻田大學和富士通研究所等幾十家單位參加。

歐洲工業發達國家也相繼對微型系統的研究開發進行了重點投資，德國自1988年開始微加工十年計劃項目，其科技部于1990～1993年撥款4萬馬克支持'微系統計劃'研究，并把微系統列為本世紀初科技發展的重點，哪里有鋸床下料加工，德國首創的LIGA工藝，為MEMS的發展提供了新的技術手段，城陽鋸床下料加工，并已成為三維結構制作的優選工藝。法國1993年啟動的7000萬法郎的'微系統與技術'項目。歐共體組成'多功能微系統研究網絡NEXUS'，聯合協調46個研究所的研究。瑞士在其傳統的鐘表制造行業和小型精密機械工業的基礎上也投入了MEMS的開發工作，1992年投資為1000萬美元。英國政府也制訂了納米科學計劃。在機械、光學、電子學等領域列出8個項目進行研究與開發。為了加強歐洲開發MEMS的力量，一些歐洲公司已組成MEMS開發集團。

由于加工技術水平的發展，圓鋼鋸床下料加工廠，超精密加工劃分的界限逐漸向前推移，但在具體數值上沒有固定的界定

超精密加工的影響因素很多，只有廣泛研究和綜合采用各種新技術，并在各方面精益求精，才能突破目前常規加工技術不能達到的精度界限。實現超精密切削加工的條件主要包括超精密加工機床、超精密切削刀具、超精密加工環境、超精密加工的工件材質、超精密加工用夾具和超精密測控技術等多項技術。超精密加工技術實際上就是這些技術的綜合應用?，F代科學技術的發展以試驗為基礎，所需試驗儀器和設備幾乎無一不需要超精密加工技術的支撐。